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2010-09-17
Epson Toyocom 開發出能夠檢測出高度每3 cm的氣壓變化並具有高精度、高分辨能力的絕對壓力感測器“XP-6000CA”

愛普生拓優科夢(Epson Toyocom)公司(總經理:矢島 虎雄)本次開發出既具備高精度與高分辨能力又實現了小尺寸的絕對壓力感測器:XP-6000CA。 預定將於2010年10月開始提供樣品。

本次開發的“XP-6000CA”應用QMEMS技術(*1)成功地將高精度、高分辨能力與小型化合為一體。它的壓力綜合精度為±30 Pa;分辨能力達到0.3 Pa;同時實現了7.0 × 5.0 × 2.0t mm的小尺寸。 除了高精度、高分辨能力以外,由於“XP-6000CA”的感測器單元使用了石英作為原材料,所以也是對溫度等外界環境的變化相對穩定的感測器。

而且,我們在壓力測試中採用了應用于石英晶體單元的測試技術的頻率計數方式,從而使壓力測試不易受到噪音的影響。 因為高度變化1 cm,氣壓會隨之變化約0.1 Pa,所以0.3 Pa的分辨能力是指可以檢測出高度相當於3 cm單位的變化量。由於在小尺寸的產品中實現了檢測如此微弱的壓力變化,所以可以在活動量計(*2)以及個人導航設備 (*3)等移動式設備的應用系統中納入更高精度的測量;另外,也能為產業中用於測量氣壓等設備的小型、省空間化做出貢獻。



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